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- 测试方法:真空衰减测试、压力衰减测试;

- 测试控制:全自动测试,样品自动抓取/放置、腔体自动打开/关闭、样品自动分区;

- 测试配置:四轴机械手自动进出样、机器视觉自动识别样品;

- 测试样品:各类安瓿瓶、西林瓶、卡式瓶等;
- 测试算法: P计算、泄漏率计算、名义孔径值计算、温度-压力补偿计算、气压校准计算

- 测试精度:刚性容器1-2μm;

- 测试数量:120-200支/托盘

- 测试结果:定性(合格/不合格)定量(sccm&μm)