当承科技(上海)有限公司
- 测试方法:真空衰减测试、压力衰减测试;
- 测试控制:全自动测试,样品自动抓取/放置、腔体自动打开/关闭、样品自动分区;
- 测试配置:四轴机械手自动进出样、机器视觉自动识别样品;
- 测试精度:刚性容器1-2μm;
- 测试数量:120-200支/托盘
- 测试结果:定性(合格/不合格)定量(sccm&μm)